世界上並沒有所謂的「無塵室」,它的原名叫「Clean Room」,
所以真正的說法應該是「潔淨室」。
在台灣(世界上大部分也是)所謂的無塵室等級是參考美規209E,
它所管制的項目包括:落塵量、溫度、溼度、靜壓及照明度……等等,
而所謂的等級之分是依據落塵量的最大設計值來做基準,
比如說10級無塵室(Class 10 Clean Room)
它的最大落塵量為每1立方英呎大於0.5μm粒徑的particle不得超過10顆,
相同的道理1000級無塵室(Class 1000 Clean Room)
它的最大落塵量為每1立方英呎大於0.5μm粒徑的particle不得超過1000顆,
所以等級數字越小代表級數越高。
當然啦,級數越高的無塵室所管制的particle就越細,
像是0.1或0.2μm,但仍然是以0.5μm的管制數量做為級數的代表
除了美規的標準之外也有日規的標準(JIS B 9920),它的算法又不一樣了,
日規算法是以0.1μm做基準 ,
如果它的無塵室最大落塵量管制為 1×10^3 (指的是10的3次方),
也就是每1立方公尺0.1μm粒徑的particle不得超過1000顆,
那麼它的等級就是Class 3,如果它的無塵室最大落塵量管制為 1×10^6 ,
也就是每1立方公尺0.1μm粒徑的particle不得超過1000000顆,
那麼它的等級就是Class 6,
而日本是以立方公尺計算,與美國的立方英呎不同,
但是在美規及日規標準之間其實是可以換算的。
無塵室又可分為正壓與負壓二種,
一般產業所使用的均為正壓型式,主要是預防室外的落塵污染,
而在醫院或有些生技廠房都會使用負壓無塵室,
因為怕細菌外洩所以室內相對於室外氣壓必須為負,
像是之前SARS期間我們常聽到「負壓隔離病房」就是這個意思。