無塵室工程規劃│無塵室工程│無塵室工程設計│無塵室規劃
無塵室工程規劃規格及清淨度
無塵室的應用,大致可分為二類,即工業用無塵室(Industrial Clean Room)簡稱ICR,和生化及醫學用無塵室(Biological Clean Room)簡稱BCR。
在工業用無塵室其清淨度規格方面,有美國聯邦規格標準FS209E(US Federal Standard 209E)及日本國家標準 JIS B9920等多種參考規範.在生化.醫學用無菌室其要求規格有美國航空太空總署(NASA)規範(NHB5340.2)最為普遍。
無塵室的設計通常依照使用需求情況加以檢討再決定採用何種規範作為基準。
本公司開始接觸無塵室工程至今已有相當多的實績，藉由內部訓練以及團隊整合，已承接國內外整體無塵室建廠及廠務系統之統包工程。為符合生產製程的需求所提供的環境及設施，穩定的無塵室環境能提升產品的良率，我們可以為您做整體的建廠整合。
無塵室系統工程中包含：
無塵室內裝工程 ：動線、流程及法規之檢討。
空調工程 ：熱負載、機台需求環境及環境控制之檢討。
電氣工程 ：照明、無塵室的設備電力及機台電力整合之檢討。
消防工程 ：FM及國內法規需求之檢討。
儀控工程 ：環境控制之精準度和控制點之檢討。
在無塵室施工過程中除了對各系統的施工品質要特別注意外，對於各施工中工程的整合及清淨階段的管制尤其重要，主要區分為：
無塵室內空間規劃
無塵室內管路規劃
無塵室內清淨時程規劃
整体廠務系統檢討及施工檢討
無塵室完工後之測試，更是確定工程符合原設計規範的重要工作，主要測試項目為：
風速測試 (Air flow velocity test)
過濾網洩漏測試 (Filter leakage test)
潔淨度測試 (Air borne particle count test)
壓力測試 (Room pressurization test)
溫 / 濕度測試 (Temperature / humidity test)
噪音測試 (Noise level test)
照度測試 (Illumination test)
地板電阻測試 (Floor covering resistance test)
牆對地電阻測試 (Wall to ground resistance test)
無塵室之測試將依據規範之需求而做項目的調整。
無塵室（或稱：潔淨室）是指一個具有低污染水準的環境，透過將密閉空間內空氣中的微塵粒子等污染物排除，而得到一個相當潔淨的環境。空氣中的污染物包括灰塵，微生物，懸浮顆粒，和化學揮發性氣體。無塵室被廣泛地應用在對環境污染特別敏感的產業，例如半導體生產、生化技術、精密機械、製藥、醫院、無菌食品加工製造業等，其中以半導體業對室內之溫濕度、潔淨度要求尤其嚴格，必須控制在某一個需求範圍內才不會對製程產生影響。
無塵室規劃、無塵室工程規劃級別標準
無塵室經常使用美國聯邦S209E標準及ISO 14644-1標準所規範的每立方英呎或每立方米最高可容許粒子數目來決定潔淨度級數。
| 級數 | 各大小微塵粒子最高容許量 | ||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 0.1 µm | 0.2 µm | 0.3 µm | 0.5 µm | 1 µm | 5 µm | ||||||||
| US F. S209E | ISO 14644-1 | (m³) | (ft³) | (m³) | (ft³) | (m³) | (ft³) | (m³) | (ft³) | (m³) | (ft³) | (m³) | (ft³) |
| ISO 1 | 10 | 2 | 0 | 0 | 0 | 0 | |||||||
| ISO 2 | 100 | 24 | 10 | 4 | 0 | 0 | |||||||
| C-1 | ISO 3 | 1,000 | 35 | 237 | 8 | 102 | 3 | 35 | 1 | 8 | 0 | 0 | 0 |
| C-10 | ISO 4 | 10,000 | 350 | 2,370 | 75 | 1,020 | 30 | 352 | 10 | 83 | 2 | 0 | 0 |
| C-100 | ISO 5 | 100,000 | 3,500 | 23,700 | 750 | 10,200 | 300 | 3,520 | 100 | 832 | 24 | 29 | 0 |
| C-1K | ISO 6 | 1,000,000 | 35,000 | 237,000 | 7,500 | 102,000 | 3,000 | 35,200 | 1,000 | 8,320 | 236 | 293 | 7 |
| C-10K | ISO 7 | * | * | * | * | * | * | 352,000 | 10,000 | 83,200 | 2,360 | 2,930 | 70 |
| C-100K | ISO 8 | * | * | * | * | * | * | 3,520,000 | 100,000 | 832,000 | 23,600 | 29,300 | 700 |
無塵室空調氣流
無塵室內的空氣流動方式可分為層流及亂流，其中層流又可再分為垂直層流及水平層流。以下為各種無塵室空調氣流方